AZO旋转靶材
AZO陶瓷靶材的超高密度以及极其均匀的单相结构，材料晶粒发育完整，内部微观结构均匀且缺陷更少，材料的体密度差异性小于0.1%，耐热冲击性能更好，磁控溅射时更能经受大功率溅射，同时由于无氧原子缺乏膜层透过率更高等优点
l AZO旋转靶材技术参数:
相对密度： + 99.3%（+5.55g/cm3）;
直径:50-400mm；
厚度:6-20mm；高度:50-250mm.
电阻率: ≤1.0×10-3Ω.cm
成份组成按照客户要求，相对密度+99.3%（+5.55g/cm3），体电阻率≤1×10-3Ω.cm，外径50-400mm,壁厚6-20mm,单节最大高度250mm,提供绑定支持。
