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AZO陶瓷靶材的超高密度以及极其均匀的单相结构,材料晶粒发育完整,内部微观结构均匀且缺陷更少,材料的体密度差异性小于0.1%,耐热冲击性能更好,磁控溅射时更能经受大功率溅射,同时由于无氧原子缺乏膜层透过率更高等优点